傳感器單位面積（

，直徑

薄膜傳感器的有效使用面積規(guī)格分別是：

• 直徑為3cm的圓

•  

• 直徑為3.5cm的圓

•  

   直徑為4cm的圓

• 直徑為4.5cm的圓

•  

• 直徑為5cm的圓

性能指標(biāo)：

1、動(dòng)態(tài)壓電常數(shù)：d₃₃=43.94pc/N*cm²

2、動(dòng)態(tài)范圍：0~100GPa

3、頻率范圍：  0~100MHZ

4、電容值：

20um:   560~590pf/cm²

30um:   370~400pf/cm²

           50um:  210~240pf/cm²                       

100um:    100~125pf/cm²

200um:    50~70pf/cm²